半導體是國家既定發展的重要與關鍵產業，軍事、民生、科技、交通、醫療皆依賴半導體產品作為發展的基礎。半導體的良率及制程技術(線徑)，為提高產品可靠度，妥善率及降低生產成本之關鍵因素。
對於廠務人員而言，如何滿足制程的需求才是最重要的。廠務系統(水、電、空調、氣體、化學、排氣、二次配)的妥善率直接影響到制程系統(光罩、擴散、蝕刻)產品的良率及制程的研發一旦出錯未能如計畫，結果廠務人員恐將難辭其咎，同時亦將承受巨大壓力，對於績效的考核與職位的升遷亦將造成重大影響。
有鑑於此，為提升廠務設備的妥善率，並執行有效的維護及管理，目前設備異常的發現皆為主觀非科學的方式，例如由日常巡檢配合簡易度及振動量測，定期維修更換零件，仍會有偶發臨時搶修狀況(皮帶斷裂、軸心磨損、軸承燒毀等)，損壞範圍擴大將造成備料困難，維修時間延長等問題，勢必需要建立一套對於重要設備失效模式建立極早期預警機制，經自動分析後提供準確的失效模式，在適當時機進行正確的維修，納入計畫維修專案，依損壞分析內容進行備料準備，維修檢查SOP基準確認、人員、機具及工安預準備，維修後再進行效果確認與人為維修策略檢討，如此可大幅提高設備可靠度綜合效率。